当前位置：首页 -->技术服务 -->机加工服务


气相沉积技术在模具制造中是如何应用的？

气相沉积是通过气相中发生的物理、化学过程，改变表面成分，工件表面形成功能性（例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能）或装饰性的化合物涂层的新技术。气相沉积通常是在工件表面覆盖厚为0.5 –l0μm的一层过渡族元素（钛、钒、铬、错、钨、钼、钽、铌及铪）与碳、氮、氧和硼的化合物。按过程的主要属性可将气相沉积分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)两大类。气相沉积是模具表面强化的新技术之一，已广泛应用于各类模具的表面硬化处理，主要应用的沉积层为TiC、TiN、Ti (C，N)。
用CVD技术可以在各种工模具材料上沉积TiC、TiN、Ti(C，N)薄膜，表8-11为化学气相沉积覆层模具的寿命对比。
表8-12  列出了三种PVD法与CVD法的特性比较，可供参考选用。
表8-11  化学气相沉积覆层模具的寿命对比

沉积层种类

模具名称

钢号

未沉积的平均寿命

沉积后平均寿命

提高使用寿命倍数

TiN

模圈

Cr12

150-200次

1100-1900次

6-8

TiN

Ml0六方上冲模

Cr12MoV

2.5*104次

10*104次

3

TiN

M6切边模

9 CrSi

（2-3）*104次

7*104次

3

Ti(C,N)

行车碗下模

Cr12

5*104次

30*104次

5

Ti(C,N)

锯片轧辊

Cr12MoV

3个月

21个月

6

Ti(C，N) 

冲孔模

Cr12

3天

15天

4

 表8-12  几种PVD法和CVD法的特性比较

项  目

PVD法

CVD法

真空蒸镀

阴极溅射

离子镀

镀金属

可以

可以

可以

可以

镀合金

可以，但困难

可以

可以，但困难

可以

镀高熔点化合物

可以，但困难

可以

可以，但困难

可以

沉积粒子的能量/eV

0.1-1

1-10

30-1000

 

沉积速度；μm . min-1

0.  1～75

0.01-2

0.1-50

较快

沉积膜的密度

较低

高

高

高

孔隙度

中

小

小

极小

基体与镀层的连接

没有合金相

没有合金相

有合金相

有合金相

黏结力

差

好

最好

最好

均镀能力

不好

好

好

好

镀覆机理

真空蒸发 

【点击次数：】 【加入时间：2013-07-17 09:53:45】 【关闭本页】